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利用吸收法的废气处理设备采用低挥发或不挥发性溶剂对VOCs进行吸收，再利用VOCs和吸收剂物理性质的差异进行分离。含VOCs的气体自设备底部进入塔内，在上升过程中与来自塔顶的吸收剂逆流接触，净化后的气体由塔顶排出。

吸附型废气处理设备主要是利用多孔物质对废气进行吸附，并且使其进行脱落的过程，吸附处理废气时，吸附的对象是气态污染物，气固吸附。被吸附的气体组分称为吸附质，多孔固体物质称为吸附剂。

燃烧及催化废气处理设备，燃烧法用于处理高浓度Voc与有恶臭的化合物很有效，其原理是用过量的空气使这些杂质燃烧，大多数生成二氧化碳和水蒸气，可以排放到大气中。但当处理含氯和含硫的有机化合物时，燃烧生成产物中HCl或SO2，需要对燃烧后气体进一步处理。

低温等离子设备是利用等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，蕞终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。

在工业生产过程中会产生大量的废气以及碳氢化合物等对******的物质，其中VOC有机废气为强致***物。现有的处理方式只是把作业点产生的废气高空排放，虽操作厂区室内稍清洁，但只是污染的转移，大气及周边环境仍充满污染，危害大。那么工业废气处理设备具有那些优点？

1、能够同时处理多种混合有机废气。

2、吸收去除，能力强。

3、采用自动化控制运转设计，操作简易、安全。

4、全密闭型，室内外皆可使用。

5、设备构造紧凑，占地面积小，维护管理简单方便，运转成本低。

罗茨真空机组的工作压力应该满足真空设备的极限真空及工作压力要求。

对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵必须考虑的，对极限真空度要求较高(达1×10-3Pa~1×10-2Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阎机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1×10-2Pa～1×10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133~1333pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体.就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

为了获得在低入口压力(1-100pa)时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之问的抽速比一般在2~5之间。